本晶圓車間采用賽博科技未來(lái)風(fēng)設(shè)計(jì),以鈦金銀(設(shè)備)、啞光黑(結(jié)構(gòu)框架)和霓虹藍(lán)(智能交互界面)構(gòu)成核心視覺(jué)體系,強(qiáng)化高科技產(chǎn)業(yè)屬性。
地面為導(dǎo)靜電高架地板系統(tǒng),確保微振動(dòng)控制與管線隱蔽;墻面采用航空級(jí)鋁復(fù)合板,陽(yáng)極氧化處理防靜電;頂面集成ULPA超高效過(guò)濾模塊,配合負(fù)壓梯度控制氣流。
功能布局嚴(yán)格遵循半導(dǎo)體Fab標(biāo)準(zhǔn):黃光區(qū)采用波長(zhǎng)過(guò)濾玻璃,晶圓傳送由AMR機(jī)器人完成,中控臺(tái)配備AR監(jiān)測(cè)屏。創(chuàng)新性融入數(shù)字孿生投影墻和動(dòng)態(tài)壓差顯示系統(tǒng),在滿足ISO14644-1Class100標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí),構(gòu)建具有科幻美學(xué)的尖端芯片制造環(huán)境。